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項目名稱：北京懷柔實驗室2023年第四批科研設備采購項目

項目編號：1495-234thhrlab04/06

招標范圍：產(chǎn)品名稱：X射線熒光光譜儀設備 數(shù)量：1臺 簡要技術規(guī)格：X射線熒光光譜儀(XRF)是一種半導體檢測設備，具體規(guī)格如下： 1)用于硅片表面金屬厚度檢測，具備對多種金屬材料如Al、Ni、Ti、Ag等及其合金的膜厚進行非破壞性測試功能； 2)Al元素測試限：0.01~15μm； 3)Au元素測試限：0.005~10μm； 4)Ag元素測試限：0.005~4μm； 5)測厚精度：RSD<5%； 6)X射線光斑尺寸：≤35μm； 7)適用于6、8英寸晶圓。

招標機構：天恒招標有限公司

招標人：北京懷柔實驗室

開標時間：2023-06-30 09:30

公示時間：2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59

中標結(jié)果公告時間：2023-07-07 14:34

中標人：瑞德儀實業(yè)有限公司

制造商：BOWMAN Analytics,Inc.

制造商國家或地區(qū)：美國

關鍵詞：